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케이맥㈜dl 세계 최초 반도체 극초박막 분석기기 'Nano-MEIS' 개발을 완료했습니다.

Nano-MEIS는 케이맥이 지난 5년간 반도체 시장 진입을 위해 개발해온 '반도체 공정용 초정밀 분석기기'입니다.

케이맥은 세계에서도 일부 연구용으로만 쓰이던 고성능의 첨단 기기를 한단계 발전시켜 반도체 웨이퍼의 테스트 패턴 분석에도 사용할 수 있도록 개발하고 최초로 상용화에 성공함으로써 반도체 표면 분석의 새로운 지평을 열었다는 평가를 받고 있습니다.

<Nano-MEIS(나노 마이스)>

그간 반도체 및 바이오 분야에서 미세영역에 대한 표면 분석 또는 물질의 성분을 분석하기 위해 TEM(transmission electron microscope) 또는 SEM(Scanning Electron Microscope) 등의 정밀 분석기기를 통해 측정을 진행해 왔다.
하지만 최근 이러한 미세영역이 수 나노(Nano) 사이즈로 더욱 얇아지고 있으며 이를 정확히 구현하고 측정해 내는 것이 반도체 성능을 향상시키는 핵심기술로 인식되고 있다.
그러나 기존 장비로는 측정이 불가능하거나 측정 방식이 매우 불편해 어려움을 겪고 있었다.

케이맥이 개발한 이 제품은 매우 얇은 원자층의 두께까지 측정할 수 있는 MEIS(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy, 중에너지 이온산란분석) 기술을 이용하여 만든 세계최초의 상용화 장비이다.
분석시간은 기존 장비 대비 95%까지 대폭 단축되었으며(기존:12시간 이상, 본 기기:30분 이하) 이에 따라 공정에 직접 적용(In Line化)까지 가능하여 반도체 공정의 수율 향상에 크게 기여할 수 있다는 장점을 보유하고 있다.


 

posted by 글쓴이 과학이야기

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