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plasmonics is working on a chip


KAIST 부설 나노종합팹센터가 나노람다㈜와 공동으로 첨단 나노광학분야 플라즈모닉스 기술을 이용해 기존 광학기술의 한계를 극복하고, 분광기능을 갖는 초소형 센서 칩을 구현해 낼 수 있는 공정기술을 개발했습니다.

나노종합팹센터)는 2009년부터 나노람다와 나노플라즈모닉스 기술을 이용한 플라즈모닉 빛센서칩의 핵심부품인 나노옵틱필터 어래이와 스펙트럼 센서에 대한 핵심 양산공정 기술을 공동 개발했습니다.

기존 분광기는 값 비싼 광학부품인 프리즘 또는 회절격자, 미러, 광파이버 등을 사용하여 빛을 파장별로 분리하기 때문에, 크기도 크고 가격이 수천 만 원에 이릅니다.

따라서 강력한 물질분석 장비임에도, 주로 대형 실험실에서만 사용됐습니다.

그러나 새로 개발된 프라즈모닉센서는 이러한 값비싼 고전 광학부품을 전혀 사용하지 않고, 현재 스마트폰 등에 많이 쓰이는 CMOS 이미지센서 기술에, 첨단 프라즈모닉 나노광학 필터 어래이 기술 및 혁신적인 신호처리 소프트웨어 기술을 융합하여 스마트폰에도 장착할 수 있을 정도의 크기 및 가격대를 구현했습니다.



이번에 개발된 광센서 시제품은 기존의 노트북 크기의 고가의 분광기(Optical spectrometer) 기능을 초소형 센서칩에서 구현할 수 있는 세계 최초의 기술로 평가받고 있습니다.

이를 이용할 경우 스마트 TV나 디스플레이의 색상을 주변 빛 환경에 따라 항상 최적의 색을 유지하게 할 수 있습니다.

또한 스마트 LED조명 시스템에도 적용되는 등 이 분야에서만 연간 수 억 개의 센서칩이 사용될 것으로 예상됩니다.

뿐만 아니라 손목시계 형태와 같은 웨어러블 개인용 건강 모니터링 디바이스들에 내장되어 실시간으로 개인 건강상태를 모니터링 하는데도 사용되면서 이에 대한 수요 또한 연간 수 억 개를 넘어설 것으로 예상됩니다.

게다가 광센서는 현재 존재하지 않는 새로운 시장이인데다, 센서칩 자체 시장만도 1조 원을 넘으며 그 응용 및 관련 신규 시장 창출 규모는 2015년 수 조 원을 훨씬 넘을 것으로 예상됩니다.

나노종합팹센터는 최근 공정불량을 최소화해 웨이퍼 수준에서 99% 이상의 제품이 구동하는 성과를 올렸으며, 이를 토대로 성공적인 양산 체계를 위한 제반 환경과 여건을 지속적으로 지원키로 했습니다.

나노종합팹센터&(주)나노람다 공동개발 플라즈모닉 광센서

 

 용   설 

나노플라즈모닉스 :
빛(포톤)이 나노사이즈의 구조를 가진 금속 표면에 있는 자유전자와 상호작용(공진)하여, 빛 에너지가 자유전자 그룹의 표면파 에너지로 바뀌는 현상으로, 기존의 광학 성질과는 판이하게 다른 새로운 나노광학 분야이다.
전자학이 가지고 있는 물리적 한계(속도)를 극복할 수 있는 포스트 전자학으로 광범위한 응용분야에서 다양한 연구되고 있다.

나노옵틱필터어레이 :
나노플라즈모닉스 분야중 빛의 파장을 선택적으로 처리할 수 있는 파장 필터 기능을, 아주 작은 면적 안에 수백 수천 종류를 어레이 형태로 만든 구조

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□ 그래핀은 원자번호 6번인 탄소로 구성된 나노물질입니다. 쉽게 이해하려면 연필심인 흑연을 떠올리면 됩니다.

그래핀은 두께가 0.2nm로 얇지만 물리 화학적 안정성가 매우 높습니다.

특히 구리보다 100배 이상 전도도가 좋으면서도, 반도체 소재인 단결정 실리콘보다 전자를 100배나 빠르게 이동시킬 수 있는데다, 강도는 철보다 200배 이상 강하고, 열전도성은 다이아몬드의 2배 이상입니다.
 
게다가 탄성이 좋아 늘리거나 구부려도 전기적 성질을 잃지 않기 때문에 '꿈의 나노물질'로 불립니다.

□ ETRI(한국전자통신연구원) 그래핀소자창의연구실 김진태 박사와 KAIST 전자공학과 최성율 교수가 공동으로 그래핀 기반의 플라즈몬 광도파(metal strip optical waveguide) 소자를 개발했습니다.

플라스몬(plasmon)이란 금속 내의 자유전자가 집단적으로 진동하는 유사 입자를 말하는데, 금속의 나노 입자에서는 플라스몬이 표면에 국부적으로 존재하기 때문에 표면 플라스몬(surface plasmon)이라고도 합니다.


연구팀은 화학기상증착(chemical vapor deposition: CVD)법을 통해 성장한 그래핀을 기반으로 집적 광회로 구현이 가능한 그래핀 플라즈몬 광도파로 기술을 개발했습니다.

‘그래핀 기반 플라즈몬 광도파로 및 광회로’ 개념도

금속-유전체 경계면에서 발생되는 표면 플라즈몬 폴라리톤(surface plasmon polartion: SPP)의 특성과 응용을 연구하는 플라즈모닉스(plasmonics) 분야에서는 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 등의 금속을 이용하는 금속선 광도파로에 대한 연구를 오랫동안 진행했습니다.

하지만, 금속의 전도도는 외부의 자극(전기장 등)을 통해 변화시킬 수 없어, 금속을 기반으로 하는 플라즈몬 광도파로의 응용은 한계에 다다르고 있습니다

반면, 반도체 특성을 갖는 그래핀의 전도도는 화학적 도핑(doping), 전기장, 자기장 그리고 게이트 바이어스(bias) 전압 조절 등을 통해 변화시킬 수 있어, 기존에 금속이 갖는 한계를 극복하는 신개념의 광전자소자를 개발할 수 있는 무한한 가능성을 갖고 있습니다.
 
이번에 개발한 그래핀 광도파로 기술은 기존에 이론적으로만 연구되고 있는 그래핀을 통한 광도파 특성을 실험적으로 증명한 것입니다.

특히 그래핀을 통한 광통신 성능을 확인함으로써, 그래핀 광도파로를 기존의 반도체 소자와 결합하여 광통신 및 전기통신이 동시에 가능한 차세대 광 반도체 융합 신소자로서의 개발 가능성을 크게 열었습니다.

연구진은 그 동안 금속 플라즈모닉스 기반의 나노 집적 광전자 소자를 연구해 '옵틱스 익스프레스(Optics Express)', '어플라이드 피직스 레터스(Applied Physics Letters)' 등 저명 학술지에 10 여 편의 관련 논문을 게재했습니다.

관련 논문은 광학분야 최고 권위의 저널인 '옵틱스 익스프레스(Optics Express)' 11월호에 게재됐습니다.
(논문명 : Graphene-based plasmonic waveguides for photonic integrated circuits)

 용  어   설  명

광도파 :
광파를 단면이 국한된 투명매질내에 가두어 놓고 매질의 축방향으로 전파시키는 것

표면 플라즈몬 폴라리톤(surface plasmon polartion: SPP) :
금속의 자유전자 진동과 광이 결합된 양자 입자

전도도 :
전류가 통과하기 쉬운 정도로 전류를 전압으로 나눈 값
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